洁净室内的洁净程度的控制是依靠空气过滤器实现的，十万级净化车间空气过滤器一般分为初效、中效、亚高效、高效等类别。洁净室温度和湿度的测定应在风量风压调整后进行，可用热敏电阻式数字测试仪进行测定。选取的测量点应具有代表性，并对测量点的温湿度进行必要的记录和分析。人工调节进风量与回风量、排风量、漏风量之间差值，通过室内压差显示仪表反映。也可设差压变送器检测室内压力，该信号通过转换器加以控制电动风阀。食品厂净化调节送入室内新风量的大小，达到控制室内正压的目的。国内外许多企业已采用计算机程控系统，对各洁净室的进风和回风进行控制。
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