万级净化实验室_十万级净化车间安全出口的设置，应符合下列规定：
1每一生产层、每个防火分区或每一洁净室的安全出口数目，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定；
2安全出口应分散布置，并应设有明显的疏散标志；安全疏散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。安全疏散用门应向疏散方向开启，并应设观察玻璃窗；
3丙类生产的电子工业洁净厂房，在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于O.Ol%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，安全疏散距离可按工艺需要确定，但不得大于本条第2款规定的安全疏散距离的1.5倍。
注：对于玻璃基板尺寸大干1500 mmx1850 mm的TFT-LCD厂房，且洁净生产区人员密度小于0 02人，m2，其疏散距离应按工艺需要确定，但不得大干120m。
作出上述规定的原由主要是：
1)洁净厂房安全出口的设置是为了即时疏散一旦失火时正在厂房内的工作人员，参照国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016中有关安全出口、疏散距离的规定作出的相关规定，但考虑到电子工业洁净厂房的特点和厂房内甲、乙类生产间一般面积不会太大的实际情况，对于“可设一个安全出口”的面积限值作了较为严格的规定。
2)由于各种空气洁净度等级的洁净厂房内均设置有程序较多的人员净化路线，连同必要的换鞋、盥洗等生活用室，布置上还要防止交叉污染等措施，常常会形成从洁净厂房人员入口到生产岗位的曲折路线，为此在“规范”中规定“从生产地点至安全出口不应经过曲折的人员净化路线”，以便在一旦出现“火情”时，洁净室的生产人员能顺畅、迅速地疏散至安全地点。
3)由于安全疏散距离是确保厂房内一旦出现“火情”时，厂房中工作人员即时迅速逃逸至安全地点的主要条件，所以“规范“规定应执行“建规”的有关规定，在GB 50016中规定的“厂房内任一点到最近安全出口的距离“不应大于表20的规定。但是在国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472中作出了“可按工艺需要确定，但不得大于“建规”规定的1.5倍”的规定。这是由于近年设计建造的微电子工厂洁净厂房的大体量、大面积的实际情况，如表17中所列的5代、6代TFT-LCD液晶显示器生产用洁净厂房的洁净生产区面积己达33000M2以上，建筑高度达26.5 m，其厂房内任一点到最近安全出口的距离达80～120 m。这类洁净厂房内使用可燃、易燃气体的关键设备均设有火灾报警、气体报警和灭火装置；这类厂房如前所述均设有高灵敏度早期烟雾探测系统，并且此类厂房由于生产工艺设备体积大、连续性生产、自动化传输等因素，致使要实现厂房内任一点到安全出U的距离符合GB 50016的规定十分困难；且此类厂房中操作人员较少，人员密度极低，且人员流动巡查。因此“规范”规定“丙类生产的电子工厂洁净厂房，在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于O.Ol%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，安全疏散距离可按工艺需要确定，但不得大于GB 50016中规定的安全疏散距离的1.5倍”。
